近期，國家光電子中心圓滿完成了清華大學科研成果——MEMS振動傳感器樣品的檢測任務。 MEMS振動傳感器既是國家高技術研究發(fā)展計劃(863計劃)制造裝備檢測用多功能微納傳感器專項的科研成果，也是針對武漢鍋爐股份有限公司關于在超高溫條件下監(jiān)測鍋爐內振動環(huán)境要求的研制成果。 科研成果驗收是科研創(chuàng)新的關鍵所在，檢驗檢測則是科研成果驗收的主要手段。MEMS振動傳感器屬于科研成果，在國內還沒有相關的測試標準。按照該項目驗收要求，國家光電子中心與項目科研人員充分溝通交流，結合國家相似類別設備標準提出檢測方案，并通過檢測結果表明該傳感器已達到設計目標，凸顯了檢驗檢測對科技創(chuàng)新的基礎支撐作用。 MEMS傳感器作為國際競爭戰(zhàn)略的重要標志性產(chǎn)業(yè)，以其技術含量高、市場前景廣闊等特點備受世界各國的關注。近十年來，中國MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)也正逐步完善，從研發(fā)、設計、代工、封測到應用，完整產(chǎn)業(yè)鏈已基本形成，國家對MEMS傳感器行業(yè)也給予了前所未有的政策支持。 我國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨了重大的機遇，特別是移動互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展，將對MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生深遠的影響，并將催生大量新的產(chǎn)品、新的應用，帶動MEMS產(chǎn)品在日常生活及工業(yè)生產(chǎn)中的普及化。