面向大批量、低成本市場(chǎng)開(kāi)發(fā)MEMS傳感技術(shù)的先驅(qū)Omnitron Sensors，近日宣布將與賽微電子旗下Silex Microsystems合作量產(chǎn)用于激光雷達(dá)（LiDAR）的MEMS掃描鏡。 Omnitron Sensors聯(lián)合創(chuàng)始人、首席執(zhí)行官（CEO）Eric Aguilar表示：“我們注意到汽車(chē)高級(jí)駕駛輔助系統(tǒng)（ADAS）、無(wú)人機(jī)及其他機(jī)器人系統(tǒng)制造商對(duì)低成本、高可靠的激光雷達(dá)有著巨大的需求。我們選擇了世界上最大的MEMS純代工廠Silex Microsystems，表明我們已做好市場(chǎng)準(zhǔn)備交付第一批MEMS掃描鏡，該掃描鏡能夠滿足不同應(yīng)用中激光雷達(dá)的精度、可靠性、尺寸、成本和體積要求?！?Omnitron Sensors開(kāi)發(fā)的概念驗(yàn)證MEMS掃描鏡 據(jù)Omnitron Sensors稱(chēng)，其MEMS掃描鏡可比當(dāng)前遠(yuǎn)程激光雷達(dá)應(yīng)用的其他MEMS掃描鏡提供2~3倍的視場(chǎng)（FoV），其步進(jìn)掃描鏡專(zhuān)為惡劣的高振動(dòng)汽車(chē)環(huán)境及無(wú)人機(jī)應(yīng)用而設(shè)計(jì)，其它供應(yīng)商生產(chǎn)的激光雷達(dá)旋轉(zhuǎn)鏡無(wú)法滿足這些應(yīng)用的嚴(yán)苛需求。 Omnitron Sensors的方案構(gòu)建了一種靜電馬達(dá)，它可以移動(dòng)MEMS反射鏡，并獲得比目前市場(chǎng)上同類(lèi)產(chǎn)品更大的單位面積力。Aguilar表示，Omnitron Sensors利用一種3D MEMS拓?fù)鋵?shí)現(xiàn)了這一目標(biāo)，不過(guò)，更重要的是其可制造性。為了確保工藝簡(jiǎn)單、可制造，Aguilar表示他們的MEMS掃描鏡沒(méi)有使用金屬?gòu)椈?，而是使用了硅基彈簧，它們的硬度是原?lái)的一千倍，而且不會(huì)磨損。 解決MEMS制造挑戰(zhàn) MEMS器件制造挑戰(zhàn)眾所周知。由于MEMS器件尺寸、可靠性、耐用性和可重復(fù)性方面的問(wèn)題，以及每種新型MEMS器件工藝技術(shù)的獨(dú)特性，使得MEMS制造成本高昂，從設(shè)計(jì)到交付的周期緩慢。Omnitron Sensors的核心IP可以解決這些挑戰(zhàn)。作為MEMS的一種新拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，Omnitron Sensors的IP重新設(shè)計(jì)了制造工藝，并通過(guò)新的封裝技術(shù)為其提供支持。這加快了各種小型、低成本、精密MEMS器件（從掃描鏡、慣性測(cè)量單元到麥克風(fēng)、壓力傳感器和開(kāi)關(guān)等）的批量生產(chǎn)。 Aguilar說(shuō)：“Omnitron Sensors的MEMS新型拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，巧妙地重新設(shè)計(jì)了硅工藝步驟和新的封裝方法，是微電子行業(yè)向前邁出的重要一步。它大大降低了迄今為止限制MEMS增長(zhǎng)的制造復(fù)雜性。通過(guò)利用Silex Microsystems晶圓廠已有的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備和工藝，Omnitron Sensors為快速、大批量交付穩(wěn)健、可靠且價(jià)格合理的MEMS器件掃清了障礙?！?關(guān)于Omnitron Sensors Omnitron Sensors由MEMS行業(yè)的核心創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)成立于2019年，它發(fā)明了一種新型MEMS拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，可以提高器件性能和可靠性，簡(jiǎn)化組裝，為價(jià)格敏感的大批量市場(chǎng)生產(chǎn)MEMS傳感器。