國家智能傳感器創(chuàng)新中心發(fā)布消息稱，6月30日，由國家智能傳感器創(chuàng)新中心（簡稱“創(chuàng)新中心”）建設的國內(nèi)首條12英寸先進傳感器中試線成功通線。 圖片來源：國家智能傳感器創(chuàng)新中心 該中試線以國產(chǎn)設備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學氣相沉積、原子層沉積、化學機械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進傳感器和晶圓級3D集成技術(shù)的核心工藝能力，同時為國產(chǎn)裝備提供驗證平臺，加速先進傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化，實現(xiàn)自主可控。 創(chuàng)新中心將在12英寸中試線持續(xù)開發(fā)新材料、新工藝、新器件和新集成等關鍵共性技術(shù)，重點突破光學、聲學、力學、生物等先進傳感器的核心工藝，并推動相關產(chǎn)品及應用的產(chǎn)業(yè)化。 12英寸中試線位于上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園內(nèi)，產(chǎn)業(yè)園以智能傳感器為核心，以創(chuàng)新平臺和龍頭企業(yè)為支撐，力爭將上海嘉定打造成國內(nèi)傳感器領域產(chǎn)業(yè)高地。